Спектральный эллипсометр

Код КТРУ: 26.60.12.122-00000070 · ОКПД2 26.60.12.122 — Средства измерений массы, силы, энергии, линейных и угловых величин, температуры

Параметры позиции (14) Выбрать все параметры

Характеристика	Обязательная	Параметры — клик выбирает/снимает
Минимальное значение диапазона длин волн, нм	Да	≤ 100 ≤ 200 ≤ 300 ≤ 600
Максимальное значение диапазона длин волн, нм	Да	≤ 500 ≥ 500 ≥ 1000 ≥ 2000
Спектральное разрешение, нм	Нет	≤ 3 3
Воспроизводимость, град	Нет	≤ ± 0,01 ≤ ± 0,02
Точность по толщине, нм	Нет	≤ 0.01 ≤ 0.1
Точность по показателю преломления, град	Нет	≤ 0.001 ≤ 0.005
Максимальный угол падения светового луча, град	Нет	≤ 70 ≥ 70 ≥ 90
Минимальный угол падения светового луча, рад	Нет	≤ 45 ≤ 60
Интервал падения светового луча (шаг), град	Нет	≤ 2.5 ≤ 5
Максимальная толщина, мкм	Нет	≤ 5 ≥ 5 ≥ 15
Минимальная толщина, нм	Нет	≤ 0.1 ≤ 0.5 ≥ 0.5
Диаметр светового луча	Нет	≤ 1.5 Миллиметр ≤ 3 Миллиметр
Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм	Нет	200 100
Время измерения на одной длине волны	Нет	≤ 1.5 Секунда ≤ 3 Секунда ≤ 5 Секунда ≤ 10 Секунда ≥ 10 Секунда